如果酸雾进入到系统设备中，如电磁阀，连接接头，测量池等，都会造成这些部件的腐蚀，SO3的存在使得接头、电磁阀都被腐蚀，造成气路管路漏气、分析仪测量池被严重污染、部件损坏等，增加了的维护量及沉重维护成本，这也是CEMS设备系统一直苦恼的问题。
 酸雾吸收器在CEMS系统中同时过滤其它粉尘结晶物，保证了抽气泵等重要部件的长期运行，延长部件的寿命。
因此雾吸收器在CEMS系统中起的一个非常重要的作用，整个CEMS系统的长期稳定运行都是离不开它。
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