硅片研磨的作用:前期制造过程中间,厚硅片可减少破损;在组装前,硅片减薄,利于散热;减小封装体积;提高机械强度(薄了以后柔软,薄了以后柔软,减小应力);提高电气性能(连线短);减轻划片工作量 硅片加工的特点:1、表面质量:要求磨削纹路均匀、无崩边、碎片、划道等;2、加工精度:TTV<5微米等(Total thinning veracity);3、加工质量:表面粗糙度: < 10纳米;损伤层厚度: < 10微米; 金属结合剂金刚石砂轮具有良好的力学性能和自锐性,较高的磨削效率,加工余量大,对金刚石的把持力高,成型性好,形状保持性好,使用寿命长。
可以用于石英晶体、硬质合金、玻璃、复合片、铁氧体、工程陶瓷、建筑陶瓷、电子行业用陶瓷(热敏元件等)及耐火材料的加工。
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