在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；    

技术参数：

◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节    

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆1微米以上电极/PAD使用

◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等